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中山爱德华真空机械泵-潽拓光电-爱德华真空机械泵作用

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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广州潽拓——{精},分子泵

     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修


爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。





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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






潽拓——{精},分子泵

BOC EDWARDS爱德华EXT75DX分子泵维修 


  产品优势:   

      EXT75DX是一种混合轴承复合涡轮泵,结合了陶瓷机械下部轴承,干式永磁上部轴承和Holweck拖曳级的成熟技术,并带有板载24V控制器的额外便利性,允许与我们的并行和串行通信兼容TAG和TIC控制器。

      广州潽拓从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,yi疗,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,主要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),shimadzu,Edwards,Osaka等一线品牌分子泵,欢迎来电咨询.


    EXT75DX可用于DN 40 NW,ISO-63,DN 63 CF或ISO-100入口法兰,其N 2 抽速为66ls -1。基本的泵系统需要EXT75DX泵,TAG或TIC控制器,空冷或水冷附件以及合适的后备泵

潽拓——爱德华真空机械泵,分子泵

爱德华 Edwards EXT 70H 80V dc







       广州潽拓提供Pfeiffer(普发), Leybold(莱宝),Alcatel(阿尔卡特) ,Edwards(爱德华),Varia(瓦里安),Shimadzu(岛津),Agilen(安捷伦),Osaka(大阪))等一线品牌的分子泵,分子泵电源,分子泵控制器,分子泵驱动器,真空计,真空规管,氦气检漏仪,质谱仪的维修、保养、销售等服务,经验丰富,检测设备齐全,技术可靠。